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MRC 903M 高真空磁控濺射設備
Hitachi FE-SEM 4700電子掃描顯微鏡
電子掃描顯微鏡
Plasmalab 80 Plus RIE刻蝕
Plasma-Therm Unaxis 790 PECVD DRIE
濕法去膠機 Semitool WST606MG
各類機械手控制器平邊器
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