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美國(guó)AE Advanced Energy RF電源 Paramount 射頻功率輸送系統(tǒng)這款半機(jī)架的3kW 的 Paramount 射頻 RF 功率輸送系統(tǒng)擁有更強(qiáng)的功率和阻抗測(cè)量性能，能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負(fù)載下（電壓駐波比 VSWR 超過3:1），為您帶來(lái)出色的輸送功率精度和控制性能。能夠與最突然變化的等離子阻抗保持實(shí)時(shí)同步，Paramount 射頻功率輸送系統(tǒng)能為新一代技術(shù)節(jié)點(diǎn)帶來(lái)更快的轉(zhuǎn)換速度、更少的制程步驟以及更短的制程時(shí)間。其阻抗測(cè)量精度可與網(wǎng)絡(luò)分析儀的水平相媲美，而可選頻率的調(diào)諧幾乎可以瞬間實(shí)現(xiàn)（達(dá)到毫秒數(shù)量級(jí)），其速度較市場(chǎng)上的任何其它產(chǎn)品都快。從而實(shí)現(xiàn)真正卓越的精確性、可重復(fù)性和對(duì)制程的控制。 Apex 射頻供電系統(tǒng)通用 Apex 系列射頻電源和供電系統(tǒng)采用復(fù)雜的射頻轉(zhuǎn)換技術(shù)，在適合于真空室安裝的模塊化設(shè)計(jì)中提供增大的產(chǎn)品和工藝可靠性。Apex 平臺(tái)在針對(duì)半導(dǎo)體、平板顯示器或數(shù)據(jù)存儲(chǔ)制造以等離子為基礎(chǔ)的薄膜工藝中表現(xiàn)優(yōu)異。
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