簡(jiǎn)介：
美國(guó)AEPTechnology公司主要從事半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，MEMS檢測(cè)設(shè)備，光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的生產(chǎn)制造，是表面測(cè)量解決方案行業(yè)的領(lǐng)先供應(yīng)者，專門(mén)致力于材料表面形貌測(cè)量與檢測(cè)。公司始終致力于微觀表面“三維”檢測(cè)技術(shù)和設(shè)備的研發(fā)及推廣，歷經(jīng)近十年努力，已為30多個(gè)國(guó)家提供NanoMap系列三維表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。
NanoMap-LS三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺(tái)階高度，二維粗糙度（Ra，Rq，Rmax...），三維粗糙度（Sa，Sq，Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過(guò)于粗糙的現(xiàn)狀。將臺(tái)階儀帶入了另一個(gè)高精度測(cè)量的新時(shí)代。
特點(diǎn)：
1.    全自動(dòng)軟件控制
2.    0.1到100mg接觸力
3.    垂直分辨率可達(dá)0.1nm。
4.    每次掃描最少100點(diǎn)，最多可達(dá)150，000數(shù)據(jù)點(diǎn)
5.    一體化彩色攝像機(jī)在掃描同時(shí)可直接觀察樣品
6.    簡(jiǎn)單一鍵操作與用戶友好的操作界面
 
應(yīng)用領(lǐng)域：
測(cè)量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，對(duì)于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻膠等“柔軟表面”也可測(cè)量無(wú)須擔(dān)心劃傷或破壞。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類(lèi)產(chǎn)品最低的。
 
主要技術(shù)參數(shù)
垂直分辨率:0.1nm
重復(fù)性:0.54nm(1Sigema@1um)
垂直范圍:524um（1mm可選）
掃描范圍:150mmx150mm