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下面就其維修保養(yǎng)中注意的事項(xiàng)，簡單加以陳列。

1.平時(shí)  ，整個(gè)系統(tǒng)要保持真空狀態(tài)，工作前才充入氣體，不要是真空室長期暴露在大氣中；

2.經(jīng)常檢查膠封是否良好，特別是動(dòng)密封圈，定期給動(dòng)密封處加上真空脂

3.定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的元、器件；

4.在真空狀態(tài)下不得拆卸擴(kuò)散泵和閥門。拆卸的方法是：先將整個(gè)真空系統(tǒng)抽至真空狀態(tài)，注意不要加熱擴(kuò)散泵，用手動(dòng)打開精抽閥，然后按放氣閥按鈕讓系統(tǒng)充入大氣，當(dāng)真空室充滿大氣后就可進(jìn)行拆卸擴(kuò)散泵和閥門；

5.停旋片泵、滑閥泵時(shí)，要注意電磁閥（或氣動(dòng)閥）是否向泵腔充氣，否則會(huì)引起回油，污染真空管道。因此，電磁閥（或氣動(dòng)閥）充氣動(dòng)作失靈時(shí)，必須及時(shí)進(jìn)行修理或更換；

6.對(duì)于偏北地區(qū)，在寒冷季節(jié)，夜間和教長時(shí)間停機(jī)時(shí)，必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體，以免凍裂冷卻水管（套）、泵體；

7.精抽系統(tǒng)要待真空壓強(qiáng)達(dá)到3Pa后才能工作，若在過高的壓強(qiáng)下進(jìn)行抽氣，會(huì)使擴(kuò)散泵油氧化，降低抽氣能力，縮短泵油的使用壽命；

8.為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的工作環(huán)境，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外，因?yàn)閺幕y泵排出的氣體含有很多微小的有霧。若不把它排出工作房，則在裝被鍍的工件時(shí)，盡管工件表面經(jīng)過認(rèn)真的清潔處理，仍然很快就會(huì)被微小的油霧所污染，嚴(yán)重影響膜層的質(zhì)量；

9.在工作過程中不得斷水，采用的冷卻水必須清潔，不得使用硬水或濁水作為冷卻水，否則會(huì)使冷卻水管沉積一層水垢，影響冷卻效果。

10.在工件架旋轉(zhuǎn)時(shí)500MM內(nèi)嚴(yán)禁站人，待停止后方可靠近！??！

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