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    西尼特(北京)電爐有限公司

    主營(yíng):北京電爐 CVD設(shè)備,臺(tái)車(chē)爐, 坩堝爐,離子氮化爐,井式氣體滲碳爐,真空燒結(jié)爐,
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    [供應(yīng)]CVD-12-18井式氣相沉積爐
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    • 產(chǎn)品產(chǎn)地:北京
    • 產(chǎn)品品牌:西尼特
    • 包裝規(guī)格:CVD1800
    • 產(chǎn)品數(shù)量:200
    • 計(jì)量單位:臺(tái)
    • 產(chǎn)品單價(jià):0
    • 更新日期:2025-09-11 13:55:09
    • 有效期至:2035-09-09
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    CVD-12-18井式氣相沉積爐 詳細(xì)信息


          CNT生產(chǎn)的CVD(真空化學(xué)氣相沉積爐)是一種用于在基片上生成高質(zhì)量TiC、SiC、SiO2、Si3N4  專(zhuān)用設(shè)備。淀積溫度能夠較高  (100~1800℃可調(diào)  )  ,它已成為機(jī)械制造工業(yè)、冶金工業(yè)、光學(xué)工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域微電子和光電子領(lǐng)域科研和生產(chǎn)不可缺少的設(shè)備。
            ※產(chǎn)品結(jié)構(gòu):

    CNT公司CVD設(shè)備主要由全真空專(zhuān)用不銹鋼腔體,分子泵高真空系統(tǒng),電源,生長(zhǎng)機(jī)體載體及溫控系統(tǒng),獨(dú)立排氣和生長(zhǎng)壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng),冷卻循環(huán)水輔助設(shè)備等組成。整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設(shè)備控制系統(tǒng)采用邏輯按鈕手動(dòng)控制與工控機(jī)自控控制可選。實(shí)現(xiàn)真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設(shè)備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導(dǎo)體及金屬膜等。

    參數(shù)名稱(chēng)

    型                                  號(hào)

    CVD-4-18

    CVD-8-18

    CVD-12-18

    CVD-16-18

    CVD-20-18

    額定功率

    KW

      21

    30

    45

    60

    75

    額定電壓

    V

    380

    380

    380

    380

    380

    最高溫度

    1800

    1800

    1800

    1800

    1800

    工作溫度

    ≤1700

    ≤1700

    ≤1700

    ≤1700

    ≤1700

    真空度

    6.67pa

    6.67pa

    6.67pa

    6.67pa

    6.67pa

    基片臺(tái)尺寸

    直徑

    4英寸

    8英寸

    12英寸

    16英寸

    20英寸

    基片臺(tái)轉(zhuǎn)速

    0-20RPM

    0-20RPM

    0-20RPM

    0-20RPM

    0-20RPM

    保溫材料

    V

    <

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