低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。
　　低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達到分解污染物的目的。
　　低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設(shè)備和技術(shù)作為一種新型的氣態(tài)污染物的治理技術(shù)是一個集物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和環(huán)境科學(xué)于一體的交叉綜合性電子化學(xué)技術(shù)，由于能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是目前國內(nèi)外大氣污染治理中最富有前景、最行之有效的技術(shù)方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業(yè)領(lǐng)域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。
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