概述

EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

·                半導(dǎo)體制程

·                真空蒸餾

·                真空包裝

·                鋼脫氣

·                薄膜覆層

·                真空冶金

·                低密度風(fēng)洞

·                空間模擬

·                真空浸漬

·                油干燥和脫氣

·                制藥冷凍干燥

·                CO₂ 激光

功能和優(yōu)勢

·                適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

·                它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

·                EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

o      安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。

o      牢靠且防腐蝕。

o      先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

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