SUSS MicroTecv美國(guó)蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)用光刻機(jī)，目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同，該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈，主要是由德國(guó)歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列，具備良好的光通量，穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下：

HBO? short-arc mercury varour lamps for microlithography
Lamps for SüSS  Equipment Lamp type Max life[h] Equipment(適用機(jī)型）
HBO 200W/DC 1000 MJB3
HBO 350W/S 600 MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D 1000 MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
HBO 5000W/S 1000 MA300
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