載入中……
[供應(yīng)]真空鈦金屬鍍膜
- 產(chǎn)品產(chǎn)地：
- 產(chǎn)品品牌：
- 包裝規(guī)格：
- 產(chǎn)品數(shù)量：0
- 計量單位：
- 產(chǎn)品單價：0
- 更新日期：2019-06-27 16:13:27
- 有效期至：2029-06-24
-
-
- 收藏此信息
真空鈦金屬鍍膜
詳細信息
FOXIN-TG多弧離子鍍膜機型號（直徑2m以內(nèi)）
性能型號
TG-1418
TG-1620
TG-1820
TG-2021
TG-2023
TG-2040
真空室尺寸:mm
Ф1400×H1800
Ф1600×H2000
Ф1800×H2000
Ф2000×H2100
Ф2000×H2300
Ф2000×H4000
真空室結(jié)構(gòu)
立式開門、吊裝或臥室推車結(jié)構(gòu)配置抽氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)
真空獲得系統(tǒng)
維持泵+機械泵+羅茨泵+擴散泵或分子泵（具體型號可根據(jù)客戶的要求進行配置）
真空測量系統(tǒng)
一臺皮拉尼(MKS) 一臺冷陰極(MKS) 一臺薄膜規(guī)(MKS)
電源類型
直流電源、中頻電源、脈沖電源（偏壓電源、弧電源）
極限真空指標
空載冷態(tài) 1.0一6.0×10-4Pa
電弧源
16臺-24臺
16臺-24臺
18臺-26臺
18臺-26臺
22臺-28臺
22臺-32臺
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
偏壓電源
40KW/1臺
40KW/1臺
40KW/1臺
50KW/1臺
50KW/1臺
60KW/1臺
磁控電源
1臺-2臺
1臺-2臺
2臺-3臺
2臺-3臺
————
————
工件轉(zhuǎn)動方式
多軸行星式公自轉(zhuǎn)、變頻調(diào)速（可控可調(diào)）
工件烘烤溫度
常溫-至450℃可控可調(diào)（PID溫控）
工藝氣體
3路或4路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng)選配自動加氣系統(tǒng)
冷卻方式
水冷卻循環(huán)方式，另配工業(yè)冷卻水塔或工業(yè)冷水機（制冷機)或深冷系統(tǒng)。（客戶提供）
控制方式
PLC+觸摸屏操作或計算機控制，手動、半自動、自動方式、
供給指標
氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa、
報警及保護
對泵和靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警，并執(zhí)行相應(yīng)保護措施及電氣聯(lián)鎖功能。
整機總功率
100~125KW
125~145KW
145~165KW
165~185KW
185~200KW
200KW以上
輸出頻率
電壓380V±5% ，頻率50Hz（可根據(jù)客戶國家用電標準配置）
設(shè)備占地面積
15~50m2
15~50m2
25~55m2
25~55m2
35~55m2
35~55m2
備注
可根據(jù)用戶要求設(shè)計制造非標設(shè)備，可加裝磁控濺射靶、中頻孿生對靶等。
同類型其他產(chǎn)品
免責(zé)聲明：所展示的信息由企業(yè)自行提供,內(nèi)容的真實性、和合法性由發(fā)布企業(yè)負責(zé),浙江民營企業(yè)網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
友情提醒：普通會員信息未經(jīng)我們?nèi)斯ふJ證，為了保障您的利益，建議優(yōu)先選擇浙商通會員。
浙江民營企業(yè)網(wǎng) www.pjxktv.com 版權(quán)所有 2002-2010