音圈式精密主動(dòng)隔振桌式平臺主要部件包括：高強(qiáng)度鋁合金臺體、高強(qiáng)度鋁合金蜂窩結(jié)構(gòu)臺面、精密音圈電機(jī)組、霍爾傳感器高度控制模塊、壓電式加速度傳感器、精密振動(dòng)濾波器、高速控制系統(tǒng)等組成。本系統(tǒng)在工作狀態(tài)中，金屬壓力彈簧受到壓縮后，霍爾傳感器采集的上臺面高度變化數(shù)據(jù)，瞬間傳送給微控制系統(tǒng)，從而使伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)壓力彈簧組件精確移動(dòng)，始終保持臺面與臺體基面的距離相對固定，達(dá)到系統(tǒng)的自水平調(diào)節(jié)。當(dāng)系統(tǒng)受到外界的振動(dòng)干擾時(shí)，系統(tǒng)中配備八個(gè)加速度傳感器，感知六個(gè)自由度的信號，經(jīng)過濾波放大、A/D轉(zhuǎn)換，反饋到DSP控制系統(tǒng)。在DSP控制系統(tǒng)精確運(yùn)算后，通過驅(qū)動(dòng)六個(gè)方位音圈電機(jī)組作用于工作臺面，提供大小相等方向相反的力。從而進(jìn)一步降低臺面的振動(dòng)響應(yīng)，達(dá)到環(huán)境復(fù)雜振動(dòng)的最小化。更多產(chǎn)品請登錄：moer17