產(chǎn)品說(shuō)明： 
 
產(chǎn)品名稱:工具鍍專用鍍膜機(jī)
 
產(chǎn)品描述: 最新研制開(kāi)發(fā)的一種物理氣相沉積（PVD）真空鍍膜設(shè)備,可同時(shí)安裝兩至四種不同純金屬或合金靶材,進(jìn)行單層或多層（納米）膜的鍍制。適用于各類工具鍍鍍膜要求，如切削工具，鉆頭、沖摸具等。通過(guò)對(duì)工件表面在物理、化學(xué)、機(jī)械、顏色等方面的改質(zhì)，達(dá)到耐磨、超硬、自潤(rùn)滑的效果。
 
產(chǎn)品詳情說(shuō)明:
主要特點(diǎn)：
1、采用反應(yīng)氣體等離子源輔助沉積，對(duì)工件進(jìn)行預(yù)清洗及鍍膜時(shí)的輔助沉積；
2、采用大功率的脈沖偏壓電源，使工件與膜層獲得更好的結(jié)合力；
3、采用多套孿生靶及弧，可同時(shí)安裝2—4種不同純金屬或合金靶材，獲得復(fù)合納米鍍層；
4、工件架采用公、自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，承重能力強(qiáng)及耐高溫，并可移動(dòng)出腔體，方便裝卸比較重的模具。
5、觸摸屏+PLC,可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制，自動(dòng)/手動(dòng)隨時(shí)切換；
 
基本配置：   
1、真空室立式單開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，304不銹鋼制造，真空室內(nèi)直徑自Φ1000mm-Φ1300mm；
2、真空系統(tǒng)由旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵或分子泵構(gòu)成；
3、鍍膜系統(tǒng)采用1-2臺(tái)中頻磁控濺射電源，配有1-2對(duì)非平衡磁控靶，并配有6-14個(gè)熱陰極電?。?br />4、大功率脈沖偏壓電源；
5、充氣系統(tǒng)采用國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口氣體質(zhì)量流量計(jì)、氣體流量控制（顯示）儀；
6、電控系統(tǒng)設(shè)置電路過(guò)載、斷水、斷氣聲光報(bào)警裝置；
7、控制系統(tǒng)（觸摸屏+PLC），實(shí)時(shí)顯示詳細(xì)參數(shù)，全自動(dòng)控制整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程，并自動(dòng)存儲(chǔ)工藝參數(shù)。
 
技術(shù)參數(shù)： 
總重量 2500kg～4000kg 
名義功率 150KW～200KW 
抽速（空載） 8×10-3Pa≤20min 
極限真空（空載） ≤8×10-4Pa 
壓升率（空載） 0.67Pa/小時(shí) 
工件轉(zhuǎn)速 0～5r/min 
烘烤溫度 室溫～500度