XCTG-5+1 XCTG-6～9+2
鍍膜室規(guī)格 ∮700～800mm×800～880mm ∮900～1000mm×1000～1200mm
極限真空度 ≤7.6×10-4Pa
冷態(tài)抽真空時間 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘
機組配置 KT-400擴散泵機組 KT-400/ KT-500擴散泵機組
靶配置 5個電弧靶1個磁控靶 6-9個電弧靶2個磁控靶
配電要求 KW KW
設備用途 適用于各類工具鍍鍍膜要求，可鍍制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜層
備注 可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設計制造非標專用設備?？杉友b磁控靶、中頻孿生對靶等。