氮?dú)馓驾d純化裝置。從氮?dú)饩彌_罐出來的普氮，在預(yù)熱器中和脫氧器中出來的高溫氮?dú)膺M(jìn)行熱交換升溫后，經(jīng)加熱器加熱到一定溫度以后，進(jìn)入填充了碳催化劑的脫氧器，碳和氮?dú)庵械挠嘌醴磻?yīng)生成二氧化碳，再進(jìn)入靜態(tài)混合器式冷卻器降到常溫，再通過變壓吸附原理，用填充了分子篩的微熱再生干燥器除去二氧化碳和水分，最后經(jīng)過超精度過濾器過濾以后，得到高純度氮?dú)?。此外在純化裝置中設(shè)置的預(yù)熱器（熱交換器），可回收脫氧器中脫氧后氮?dú)獾臒崃?，可大大?jié)約能耗30%以上。同時冷卻器采用了靜態(tài)混合器式結(jié)構(gòu)，避免了常規(guī)冷卻器列管變形而導(dǎo)致的故障問題，大大提高了裝置的連續(xù)性操作和性能。最后得到的氮?dú)饧兌取?9.999%，產(chǎn)量為20m3/h，氮?dú)廨敵鰤毫?.5MPa(可調(diào)),氮?dú)獬郝饵c≤-60℃。