Surftest
(表面粗糙度測(cè)量?jī)x)
SJ-500, SV-2100

178

系列 
— 
帶有專用控制 /

顯示裝置







技術(shù)參數(shù) :
SJ-500

X

軸 (驅(qū)動(dòng)部)



 測(cè)量范圍 :             
50mm



 分辨率 :                
0.05μm



 檢測(cè)方法 :             

線性編碼器



 驅(qū)動(dòng)速度 :             
0 -
20mm/s



 測(cè)量速度 :             
0.02
- 5mm/s



 移動(dòng)方向 :             

向后



 直線度 :                
0.2μm
/ 50mm



 定位 :                   
±1.5°
(傾角、有
DAT

功能)


30mm
(向上／向下)



檢測(cè)器


 范圍／分辨率 :       
800μm
/ 0.01μm, 80μm / 0.001μm,

8μm
/ 0.0001μm



 檢測(cè)方法 :             

無(wú)軌／有軌測(cè)量



 測(cè)力 :                   
4mN

或 0.75mN
(低測(cè)力型)



 測(cè)針針尖 :             

金剛石、90o
/ 5μmR


(60o
/ 2μmR: 
低測(cè)力型)



 導(dǎo)頭曲率半徑 :       
40mm



 檢測(cè)方法 :             

差動(dòng)電感式



控制器


 顯示 :   &nb