微型自調(diào)焦激光傳感器適用替代現(xiàn)有傳統(tǒng)的位移和粗糙度測(cè)頭。它可以進(jìn)行快速非接觸式表面輪廓和粗糙度測(cè)量以及精密位移的測(cè)量。
激光測(cè)量光束借助于一個(gè)物鏡聚焦于物體表面。由于物鏡的位置是被連續(xù)調(diào)整的，因而激光束的焦點(diǎn)總是與物體表面重合。
表面輪廓和局域光的反射是被同時(shí)測(cè)量的。因而，本組件可測(cè)定各種邊緣和各種材料。所有傳感器功能可以借助于儀器上配備的軟件宏進(jìn)行控制。這些宏指令可以裝載于已有的軟件中。
AFS傳感器具有表面復(fù)現(xiàn)高度保真的特點(diǎn)。
作為一個(gè)選擇項(xiàng)，傳感器可配備微型照相機(jī)適配器，以便能夠?qū)Ρ砻嫫蔚挠^察直接進(jìn)入鏡頭，使激光光束精密定位。采用特別開(kāi)發(fā)、高度集成的BMT-IC，傳感器熱漂移極低。采用大數(shù)值孔徑物鏡，儀器無(wú)論在垂直方向還是在水平方向均能提供較高的分辨率。 

主要用途：
具有高保真表面復(fù)現(xiàn)的表面粗糙度和輪廓的測(cè)量
精密位移測(cè)量
微機(jī)械零件的尺寸測(cè)量
冶金金相測(cè)量
振動(dòng)測(cè)量
厚度測(cè)量
直線度, 平面度，弧度的測(cè)量 

主要特點(diǎn)：
非接觸式表面輪廓測(cè)量、反射性能的測(cè)量、垂直和橫向的尺寸測(cè)量 
唯一的通過(guò)透鏡觀測(cè)描繪被測(cè)物體表面特征的傳感器
微型化的傳感器
分辨率1nm
可達(dá)2000μm大的測(cè)量范圍
光斑直徑< 1μm
適用已確定的制造業(yè)的幾乎所有粗糙度測(cè)量體系
連續(xù)聚焦        

主要優(yōu)點(diǎn)：
在高保真輪廓復(fù)現(xiàn)下對(duì)3D結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速的非接觸式測(cè)量                 
測(cè)量結(jié)果與表面結(jié)構(gòu)無(wú)關(guān)     
數(shù)據(jù)采集和評(píng)估可歸并到已有的軟件中 
具有可組裝性，可組裝到已有的系統(tǒng)中 
    

技術(shù)數(shù)據(jù)：  
型    號(hào) AFS 1 傳感器 AFS 2傳感器 TFS傳感器
測(cè)量范圍祄 ± 500 / ± 50 ± 1000 / ± 100 ± 500 / ± 50
垂直分辨率 nm 1 1
工作距離 mm 2 2 13
激光班直徑（約）μm 0.5 0.5 1
最大測(cè)量頻率  kHz 20 20 20
最大視場(chǎng)傾角 20 20 15
激光波長(zhǎng) nm 635 635 635
激光等級(jí) 1 1 1
外形尺寸 mm 52 x 25 x 58 52 x 25 x 58 52 x 25 x 58
重量（約）g 100 100 100