低溫等離子體在處理聚合物表面發(fā)生的交聯(lián)、化學(xué)改性、刻蝕主要是因?yàn)榈入x子體使聚合物表層分子發(fā)生斷鍵生成大量的自由基。實(shí)驗(yàn)說明，隨著等離子處理時間的延長、放電功率增大，生成的自由基強(qiáng)度增加，達(dá)到最大點(diǎn)后進(jìn)入一種動態(tài)平衡放電壓力在某一定值時，自由基強(qiáng)度出現(xiàn)最大值，即在特定條件下低溫等離子體對聚合物表面反應(yīng)的程度最深。