微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器采用德國(guó)原裝進(jìn)口的質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量變送器為主體的全自動(dòng)氫氮配氣設(shè)備，在PLC內(nèi)完成自編程序，壓力傳感器和氣動(dòng)閥門(mén)的控制下，質(zhì)量流量計(jì)計(jì)算氮?dú)廨敵隽髁亢髷?shù)據(jù)傳送給質(zhì)量流量變送器嚴(yán)格控制氫氣的注入量，忽略原氣壓力，流量變化，在混合氣使用點(diǎn)始終得到精確配氣，混合氣輸出端氫氣分析儀監(jiān)控，驗(yàn)證混合氣中氫含量，觸摸屏完成數(shù)據(jù)采集，所有參數(shù)清晰可見(jiàn)，更換配氣比例，一鍵完成，一鍵儲(chǔ)存，設(shè)備有聯(lián)鎖互鎖功能，杜絕誤操作，數(shù)據(jù)輸出端設(shè)有485接口，聯(lián)機(jī)可以完成數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳，遠(yuǎn)程控制。

  本裝置以工業(yè)普氧為原料氣，經(jīng)催化冷卻，二級(jí)吸附，精密過(guò)濾的方法除去氧中微量雜質(zhì)氫，甲烷，一氧化碳，二氧化碳，水汽和塵埃獲得高純度的氧氣。

        微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)氣密性良好，所用催化劑（可視原料氣的雜質(zhì)含量來(lái)調(diào)整工作溫度）可長(zhǎng)期使用無(wú)需再生，二級(jí)雙塔并聯(lián)結(jié)構(gòu)的干燥器延長(zhǎng)了干燥器再生時(shí)間，再生設(shè)定周期168小時(shí)，節(jié)能高效，最大限度的保證了純氣的品質(zhì)，高效吸附劑可在產(chǎn)品內(nèi)再生后重復(fù)使用。適用于需要大量高純氧氣半導(dǎo)體、光纖、顯像管等主要生產(chǎn)部門(mén)。 

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器技術(shù)指標(biāo)

原料氣：液氧

處理氣量          10Nm3/h

工作壓力          1.6Mpa

原料氧的純度：＞  99.7%

純化后：          CH4＜0.3ppm          CO2＜0.2ppm     

        H2O＜1.5ppm          塵埃  顆粒≤3.0粒/升（100級(jí)）

      裝機(jī)功率：      380V          5KW

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器設(shè)備售后服務(wù)與質(zhì)量保證

1、保修期 

                  設(shè)備的保修期為1年，在此期限內(nèi)，供方所提供的設(shè)備及部件因質(zhì)量問(wèn)題所出現(xiàn)的破損維修或更換所發(fā)生的費(fèi)用由供方承擔(dān)。由于錯(cuò)誤操作及使用不當(dāng)而造成的設(shè)備破損或更換，所發(fā)生的費(fèi)用由用戶(hù)承擔(dān)。在保修期后，供方提供終身優(yōu)惠的有償?shù)脑O(shè)備維修服務(wù)。

2、現(xiàn)場(chǎng)操作，維修人員的培訓(xùn)

    供方負(fù)責(zé)培訓(xùn)操作人員能熟練操作設(shè)備；

維修人員掌握設(shè)備的日常和維修工作；

用戶(hù)走訪

在保修期內(nèi)不少于一次。

檢查設(shè)備運(yùn)行狀況，給用戶(hù)提供合理化建議。

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器、故障排除

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器接到用戶(hù)設(shè)備出現(xiàn)故障的信息后，當(dāng)日給用戶(hù)明確答復(fù)。72小時(shí)內(nèi)恢復(fù)正常供氣。

5、其它服務(wù)

5.1）建立用戶(hù)檔案，協(xié)助用戶(hù)進(jìn)行設(shè)備管理；

5.2）定期提醒用戶(hù)更換易損件，檢查設(shè)備及注意事項(xiàng)；

5.3）定期進(jìn)行產(chǎn)品使用跟蹤服務(wù)調(diào)查及售后服務(wù)意見(jiàn)征詢(xún)；