Wide measurement range: 1 x 103 ohm to 1.6 x 1016ohm 
Stable test fixtures: resistivity cell, component test fixture 
High-speed measurement: 10 ms 
Test sequence programming 
Resistivity calculations 
Grounded DUT measurement 
Specifications

Measurement Functions 

Measurement Parameters: R (dc resistance), I (dc current), rs (surface resistivity), rv (volume resistivity) 
Mathematical Functions: Deviation and percent deviation 
Ranging: Auto and manual 
Trigger: Internal, external, manual, and HP-IB 
Delay Time: 0 to 9999 ms in 1 ms steps 
Test Cable Lengths: 2 m maximum 
Measurement Time: Short, medium, and long 
Averaging: 1 to 256 
Test Voltage: 0 to 1000 Vdc, 100 mV steps @ 0 to 200 V, 1 V steps @ 200 to 1000 V 
Maximum Current: 10 mA @ < 100 V, 5 mA @ < 250V, 2 mA @ < 500 V, 1 mA @ < 1 kV 
Current Compliance Setting: 0.5 mA, 1 mA, 2 mA, 5 mA, 10 mA