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    成都英天特實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司

    主營(yíng):實(shí)驗(yàn)室家具,潔凈工程,潔凈工程,氣路工程
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    • 產(chǎn)品產(chǎn)地:南寧
    • 產(chǎn)品品牌:英天特
    • 包裝規(guī)格:定制
    • 產(chǎn)品數(shù)量:1000000
    • 計(jì)量單位:臺(tái)
    • 產(chǎn)品單價(jià):1200
    • 更新日期:2018-05-08 14:30:37
    • 有效期至:2019-05-08
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    (聯(lián)系人:黃經(jīng)理15013617971)深圳市英天特實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)室建設(shè)系統(tǒng)工程的專業(yè)公司。是集實(shí)驗(yàn)室的整體規(guī)劃設(shè)計(jì),工程施工,凈化設(shè)備和實(shí)驗(yàn)室家具生產(chǎn)與安裝于一體的生產(chǎn)與銷售公司。實(shí)驗(yàn)室建筑設(shè)計(jì),實(shí)驗(yàn)室潔凈裝修,整體實(shí)驗(yàn)室家具設(shè)計(jì)咨詢顧問(wèn)等我們期待你的咨詢參與!

    潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45%。 氣壓規(guī)定 對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則: 

    1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 東莞潔凈車間|東莞潔凈車間裝修|東莞潔凈車間公司

    東莞潔凈車間|東莞潔凈車間裝修|東莞潔凈車間公司2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。 

    壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。 

    潔凈室中的氣流速度規(guī)定 

    這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。 

    對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求; 

    (1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。 

    (2)吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。 東莞潔凈車間|東莞潔凈車間裝修|東莞潔凈車間公司東莞潔凈車間|東莞潔凈車間裝修|東莞潔凈車間公司

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