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實(shí)驗(yàn)中很多清洗都需要用到超純水設(shè)備制取的超純水，那么硅片清洗為什么要用到超純水?
硅片是半導(dǎo)體行業(yè)重要的基體材料。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格清洗，清洗的目的在于清除表面污


染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物，否則微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。那么硅片清洗為什么要用到超純水呢?
超純水起初是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子


化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，如今超純水已在芯片、精密儀器、電鍍涂裝、


汽車(chē)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
硅片清洗對(duì)水質(zhì)要求非常高，電阻率達(dá)18兆以上，而超純水能符合標(biāo)準(zhǔn)。超純水是一般工藝很難達(dá)到的程


度，水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱(chēng)為超純水。超純水設(shè)備采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)


、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及


有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
以上就是硅片清洗為什么要用到超純水的介紹。超純水設(shè)備應(yīng)用范圍在近幾年越來(lái)越廣泛，并且具有操


作簡(jiǎn)單、水質(zhì)穩(wěn)定、運(yùn)行成本低等特點(diǎn)，受到各行業(yè)的一致好評(píng)。