儀器簡(jiǎn)介：
德國(guó)徠卡(LEICA)在智能數(shù)字式金相顯微鏡DM4000M基礎(chǔ)上提供了6英寸的移動(dòng)平臺(tái),適合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)硅片檢查的要求.智能化的操控與頂尖光學(xué)品質(zhì)的結(jié)合為半導(dǎo)體行業(yè)提供高效率的工具.
技術(shù)參數(shù)：
? 智能型操作, 智能型照明,  ? 恒定色溫, 圖像無(wú)顏色差別  ? 反射光明場(chǎng), 暗場(chǎng), 偏光, 微分干涉, 熒光  ? 透射光明場(chǎng), 暗場(chǎng), 微分干涉  ? M32 六位物鏡轉(zhuǎn)換  ? 專(zhuān)用平場(chǎng)消色差, 平場(chǎng)半復(fù)消色差暗場(chǎng)物鏡, 平場(chǎng)復(fù)消色差暗場(chǎng)物鏡,  ? 可接顯微硬度儀, 繪圖儀, 宏觀儀  ? 可接微分干涉臺(tái)階儀進(jìn)行高精度測(cè)量  ? CCD或照相系統(tǒng),  ? 與多種顯微圖像分析軟件共用  ? 可升級(jí)為其他觀察方法  ? 無(wú)限遠(yuǎn)光路
主要特點(diǎn)：
1,智能型按鍵操作, 實(shí)現(xiàn)型照明,智能CICC技術(shù)使色溫恒定, 圖像無(wú)顏色差別,更可100%記憶并恢復(fù)已觀察的條件  2,光強(qiáng),光欄,反射光模塊液晶顯示屏,顯示即時(shí)狀態(tài)  3,手動(dòng)調(diào)焦  4,6英寸硅片專(zhuān)用機(jī)械載物臺(tái),可配電動(dòng)