儀器簡介：
德國徠卡(LEICA)在智能數(shù)字式金相顯微鏡DM4000M基礎(chǔ)上提供了6英寸的移動平臺,適合半導(dǎo)體行業(yè)對硅片檢查的要求.智能化的操控與頂尖光學(xué)品質(zhì)的結(jié)合為半導(dǎo)體行業(yè)提供高效率的工具.
技術(shù)參數(shù)：
? 智能型操作, 智能型照明,  ? 恒定色溫, 圖像無顏色差別  ? 反射光明場, 暗場, 偏光, 微分干涉, 熒光  ? 透射光明場, 暗場, 微分干涉  ? M32 六位物鏡轉(zhuǎn)換  ? 專用平場消色差, 平場半復(fù)消色差暗場物鏡, 平場復(fù)消色差暗場物鏡,  ? 可接顯微硬度儀, 繪圖儀, 宏觀儀  ? 可接微分干涉臺階儀進(jìn)行高精度測量  ? CCD或照相系統(tǒng),  ? 與多種顯微圖像分析軟件共用  ? 可升級為其他觀察方法  ? 無限遠(yuǎn)光路
主要特點：
1,智能型按鍵操作, 實現(xiàn)型照明,智能CICC技術(shù)使色溫恒定, 圖像無顏色差別,更可100%記憶并恢復(fù)已觀察的條件  2,光強,光欄,反射光模塊液晶顯示屏,顯示即時狀態(tài)  3,手動調(diào)焦  4,6英寸硅片專用機械載物臺,可配電動